本系創始於民國89年，主要因應電資產業發展與需求及配合本校轉型為綜合性大學，成立電機工程技術研究所並招收碩士生。隨後於90學年度獲教育部同意開始招收大學部學生，同時更名為電機工程學系。92學年度，奉准設立博士班，並於94學年度增設在職進修碩士學位班，系所學制於焉完備。此外配合國家政策－擴大培育碩士級產業研發人才計畫，同於94學年度開始招收光機電製程自動化產業研發碩士專班。